半导体材料与器件特性表征实验
课程编码：MST417
课程负责人：朱璐、肖明
开课年级：大四
类别：专必
课程简介：半导体材料与器件特性表征实验课程以巩固学生所学半导体物理和半导体器件物理的基础知识为宗旨，实验主要涉及半导体禁带宽度、价带导带、电阻率、迁移率、导电类型、掺杂浓度、载流子寿命、缺陷浓度等。课程使学生牢固掌握半导体物理和半导体器件物理的基础知识，了解半导体材料测试的基本原理、方法和设备，使学生具备一定的从事半导体材料与器件研究的能力。
半导体材料与器件特性表征实验项目表
实验项目序号 | 实验项目名称 | 学时数 |
|---|---|---|
1 | 课程安排、参考书目、实验注意事项、考核标准等 | 4 |
2 | 半导体禁带宽度测量 | 4 |
3 | 半导体价带和导带测量 | 4 |
4 | 四探针法测量电阻率与杂质浓度 | 4 |
5 | 半导体材料的霍尔效应测试 | 4 |
6 | PN结高频C-V特性测试 | 4 |
7 | 高频光电导衰减法测量硅单晶少子寿命 | 4 |
8 | TCSPC测试半导体载流子寿命 | 4 |
9 | 半导体缺陷测试 | 4 |
