工艺设备

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  • 磁控溅射

  • 打线机

  • 电子束曝光

  • 反应离子束刻蚀机

  • 傅里叶变换红外光谱仪

  • 光刻机

  • 划片机

  • 激光直写光刻机

  • 金球焊接机

  • 离子束刻蚀机

  • 纳米压印机

  • 热蒸发镀膜