职称：

中山大学微电子科学与技术学院教授 博士生导师

 

个人经历：

新加坡科技发展局 研究科学家

新加坡国立大学 博士后研究员

新加坡国立大学 博士

 

研究方向：

长期从事压电晶圆研发与微纳传感元件的研发与集成应用，已经取得了一批有代表性的科研成果，在包括IEEE T. UFFC、IEEE Senor Journal、IEEE MEMS、IEEE TRANSDUCERS、Sensor and Actuators A: Physica等传感器权威期刊以及顶级会议发表SCI论文80 余篇，总引用超过5800余次，申请专利8项。研究方向包括：

（1）压电晶圆(AlN、ZnO等)生长与薄膜传感器

（2）微纳声学传感元件（PMUT、SAW等）与MEMS微系统

（3）阵列超声换能器与成像检测以及定位应用等

 

 

 

人才项目&社会服务：                                                                                                                   

1.    国家海外高层次人才计划“青年项目”

2.    中国硅酸盐学会微纳技术分会理事会理事

3.    中国光学工程学会海洋信息网络专委会委员

4.    广东省科学技术厅珠江人才计划项目核心成员

5.    珠海市“微纳传感技术与智能检测重点实验室”负责人

6.    中山大学“先进传感器设计与应用实验室”负责人

7.    中山大学“逸仙优秀学学者”

8.    中山大学百人计划入选者

 

科研项目：

1.    中组部，国家高层次人才青年项目，压电传感器与智能检测，2019-04至2022-04，主持

2.    JKW，基于光声成像技术的复合材料缺陷检测研究，2022-10至2025-10，主持

3.    广东省科技厅，国际合作项目，缺陷及界面调控铁电负电容效应的机理研究,2023-09至0508，主持

4.    广东省科技厅，粤港澳联合创新团队项目，面向MEMS压电微麦克风应用的氮化铝基薄膜制备技术研究，2025-01-01   至   2026-12-31，参与

5.    广东省基础与应用基础研究基金委员会，区域联合基金重点项目，离子迁移型负电容晶体管的机理研究，2021-10至2024-09，主持

6.    广东省科学技术厅，珠江人才计划”引进创新创业团队，光电毫米波/太赫兹AI-6G通信与感知，2022年12月1日至2027年11月30日，子课题负责人，参与

7.    珠海市科技创新局，珠海市产学研合作项目，智能驾驶的超声波传感器与芯片的研发及其产业化， 2023-08至2026-07，参与

8.    中山大学国防科学研究重点发展项目，光声跨介质无接触探测技术研究，主持

9.    中山大学学科交叉团队项目，面向血管内成像应用的压电微机械光声传感系统关键技术研究，2024年1月-2026年12月，主持。

10. 珠海市佑航科技有限公司，横向，高性能超声波雷达探芯仿真研发，2023-03至2023-09，主持

11. 西安热工研究院有限公司，横向，高温微区应变传感器开发服务项目， 2024-06至2023-10，主持。

 

 期刊与会议论文：

1.     C. Cheng，Qingqing Ke* (通讯作者) et al, "Highly Sensitive Lithium Niobate-Based Saw Strain Sensor With on-Chip Temperature Compensation," 2025 IEEE 38th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 2025, pp. 677-680, doi: 10.1109/MEMS61431.2025.10918044.

2.     X. Li，Qingqing Ke* (通讯作者)  et al., "In-Situ Saw/Baw Sensors Based on P(VDF-TRFE) for Strain and Temperature Measurement," 2025 IEEE 38th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 2025, pp. 681-684, doi: 10.1109/MEMS61431.2025.10918126.

3.     Zhiqing Zhang , Zhiguo Wang, Shuai Yang, Fei Li*, Qingqing Ke* (共同通讯)，“Textured ferroelectric ceramics based 1–3 piezoelectric composite for photoacoustic imaging”，Sensors & Actuators: A. Physical，380，116030(2024).

4.     Zhiqing Zhang, Xiaoxiang An, Shifeng Guo, Xiaoyue Gong, Qingqing Ke* (通讯作者)，“Design and fabrication of annular-Array ultrasound transducer based (K, Na) NbO3 lead-Free 1–3 piezoelectric composite”，IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 71. 45(2024).

5.     Huahuang Luo, Jose Cabot, Xiaoyi Wang, Member, IEEE, Mingzheng Duan, Wei Xu, Qingqing Ke*(共同通讯), and Yi-Kuen Lee*, “A Novel Transient PDE Model for Development of Highly Sensitive Micro Thermal Expansion-based Angular Motion Sensor”，IEEE SENSORS JOURNAL, 24, 6, 15 8045（2024）.

6.     X. Yan, Z. Lu, G. Zhang and Qingqing Ke (通讯), "Electrical and Structural Characterization of (002) Oriented Aluminum Scandium Nitride," 2023 17th Symposium on Piezoelectricity, Acoustic Waves, and Device Applications (SPAWDA), Chengdu, China, 2023, pp. 1-5, doi: 10.1109/SPAWDA60286.2023.10412300.

7.     Chunlong Cheng, Zihan Lu, Jingwen Yang, Xiaoyue Gong*, Qingqing Ke* (共同通讯), “Modulating the performance of the SAW strain sensor based on dual-port resonator using FM Simulation”, Materials,  16, 3269(2022).

8.     Qingqing Ke, Weng Heng Liew, Member, IEEE, Lei Zhang, Tan Chin Yaw, Changyun Jiang, Chee Kiang Ivan Tan, Kui Yao “Concave array ultrasonic transducer from multilayer piezoelectric ceramic for photoacoustic imaging”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control，68，2760(2021).

9.     Weng Heng Liew, Qingqing Ke, Chin Yaw Tan, Shuting Chen, Kui Yao, “Ultrasonic transducer from piezoelectric polymer multilayer through electrophoretic deposition for photoacoustic imaging”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 8, 2741(2021).

10.  Ting Zheng, Yang Zhang, Qingqing Ke# (共同一作), “High-performance potassium sodium niobate piezoceramics for ultrasonic transducer”, Nano Energy, 70, 104559 (2020).

11.  Qingqing Ke, Weng Heng Liew, Hong Tao, Jiagang Wu and Kui Yao “KNNS-BNZH lead-Free 1–3 piezoelectric composite for ultrasonic and photoacoustic Imaging”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 66, 1395 (2019).

 12.  Qingqing Ke, Weng Heng Liew, Lei Zhang, Chee Kiang Ivan Tan, Changyun Jiang, and Kui Yao “Broadband ultrasonic array transducer from multilayer piezoelectric ceramic with lowered co-firing temperature”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 66, 1395 (2019).

 

专利：

1.     柯晴青，安潇翔，“一种环形超声换能器” CN217726112U（已授权）

2.     柯晴青，张志清，“一种环形阵列超声波换能器”， CN218691247U（已授权）

3.     柯晴青，张笑儒，程春龙， 唐嗣霖，“基于 SAW 谐振器的电池应力应变无源无线检测方法及系统”, 申请号202311319631.5 （受理）

4.     柯晴青，蒙泽楷，杨静雯，程春龙，“一种贴片式电池鼓包监测装置、方法及电池结构”, 申请号 202411027418.1（受理）；

5.     柯晴青，张国祥，张志清，刘伟亭，“多阵列超声换能器、多阵列超声换能器制造方法及内窥镜”，申请号:202410801359.2.

6.     柯晴青，郇昌梦，刘冰涛，孙晗熙，“一种铁电负电容场效应晶体管及其制备方法”，CN 115425074 A，（已授权）

7.     Kui Yao, Wenheng Lee, Qingqing Ke and Shuting Chen, “A method to produce electromechanical polymer multilayer structures and the resulting devices”, Singapore patent WO2020055332A1，2020-03-19.

 

联系邮箱：

keqingq@mail.sysu.edu.cn