创芯论坛第三十四期

微纳系统（MNS）作为21世纪关键使能技术，在应对可持续发展、气候变化、健康监测与可再生能源等重大社会挑战中发挥核心作用。比利时鲁汶大学电气工程系围绕该领域展开多项创新研究。重点研究方向包括：1）MEMS协同设计方法——开发新型半自动化设计框架，支持自由形状结构及多物理域（热-电-机械）协同设计，已应用于高精度惯性传感器、微夹持器等；2）压电超声换能器（PMUT）与声学器件，展示微扬声器/麦克风原型器件的仿真与测试进展；3）耦合谐振器质量传感技术，通过自激振荡压阻/热谐振器及体声波谐振器实现灵敏度提升；4）柔性高密度神经电极阵列开发；5）生物反应器多参数监测芯片，同步检测pH、溶氧、乳酸/葡萄糖浓度等六项指标。研究依托鲁汶大学微纳加工核心设施，并通过新成立的"鲁汶微纳集成研究所（LIMNI）"强化跨学科协同。该领域将持续推动医疗、环境监测等关键技术的突破性发展，成为经济增长的重要驱动力。