微电子科学与技术学院推进贵重仪器设备开放共享工作

为贯彻落实党的二十大关于完善科技创新体系、优化创新配置资源以及学校第十四次党代会关于健全大型仪器设备共享管理机制的要求，切实促进大型科研仪器开放共享，进一步提高科技资源利用效率，我院根据学院发展实际情况，有序推进贵重仪器设备面向校内外开放共享。

我院目前重点建设了微电子工艺器件实验室、集成电路设计与测试实验室、以及智能计算芯片等多个科研平台，配备了硬件加速器、光刻机、刻蚀机、真空镀膜设备、半导体参数分析仪、载流子寿命分析仪等设备，涵盖了集成电路设计、制造、测试等流程。我院设备使用实行预约制度，在满足学院教学、科研的情况下，有偿对外开放，欢迎校内外人员前来使用。部分共享设备如图

硬件加速器

 光刻机

傅里叶变换红外光谱仪

单室高真空电阻式镀膜设备

反应离子刻蚀机

真空磁控溅射

划片机

真空蒸镀设备

紫外可见近红外分光光度计

半导体载流子寿命分析仪

矢量网络分析仪

功率放大器

我院推进仪器设备开放共享工作，不仅有利于提高设备使用效益和社会服务能力，也是加强团队合作、促进学科交叉融合的又一重大举措。接下来，学院将积极配合学校完成设备的挂网预约工作，方便广大师生线上预约使用。

设备预约联系人

马老师：mayf29@mail.sysu.edu.cn

彭老师：pengyg5@mail.sysu.edu.cn