专业微电｜我院成功开展本科生微加工工艺实验课程

学院秉持“专业微电”的理念，以学生成长为中心，重视本科生的人才培养。本学期学院依托新建的微电子工艺器件实验室，成功开展本科生微加工工艺实验课程，旨在帮助我院学生加深理论知识的学习和了解相关专业设备的使用方法，切实提升本科生的专业知识水平和实操能力。

微加工工艺实验课程是学院的特色课程，以半导体工艺与微加工技术相结合，深化和补充微加工技术理论教学，有助于加深学生对半导体工艺与微加工技术的了解，增加对集成电路和芯片设计领域的认识，强化对我国芯片事业发展的责任感和使命感。该门课程通过运用不同的设备和仪器完成实验过程，开拓学生思维，解决实际问题，帮助学生巩固理论知识，培养实践能力和发展探究能力，为今后的学习和工作打下坚实的基础。

课堂教学

教学课程表

第9周由学院黄展锋助理教授负责第三章实验课程的教学，本阶段要求同学们学习并了解微加工技术中重要的光刻工艺，具体包括光刻胶的薄膜制备、曝光、和显影等步骤。本次实验课为学生营造了一个可以锻炼动手实践能力的学习场景，让同学们实际体验光刻的基本流程，加深对芯片制造工艺的认识。

课程步骤