专业导学公开课 | 微电子科学与技术学院：光刻技术的发展与微纳制造

2021年11月26日，微电子科学与技术学院在广州校区南校园梁銶琚堂为2021级智能实验班开设专业导学公开课。本次公开课由微电子科学与技术学院院长助理徐政基副教授主讲，学院党总支书记靳祥鹏主持，智能实验班全体新生参加。

本场公开课主题为“光刻技术的发展与微纳制造”，主要讲解芯片制造工艺中的核心技术—光刻技术的原理和发展情况。同时对微纳制造工艺的应用场景和最新成果进行介绍，使同学们理解芯片行业和微纳制造作为“国之重器”的地位，激励同学们为实现科技自主和产业报国贡献力量。

徐政基老师首先引入光刻技术的概念，利用示意图展示图形转移和光刻技术的过程原理，解释光刻的三大要素：光刻胶、掩膜版、光刻机在技术流程中的作用和功效。进而讲解芯片的平面工艺并向大家分别介绍了晶体管之父肖克利、硅谷“八叛逆”、仙童半导体公司在芯片的平面工艺领域的研究事迹与成就。

在同学们对光刻技术有了初步了解的基础上，徐政基老师紧接着介绍了光刻机与光刻技术的迭代：从紫外曝光技术、接近式与接触式光刻机到浸润式光刻机，相关技术在不断进步。

随后，他还讲解了与其息息相关的新型微纳制造技术的基本知识与“深度摩尔”和“超越摩尔”的概念。他还为同学们展示了利用先进光刻技术制造的8英寸与12英寸晶圆实物，介绍了国际、国内光刻技术研究发展情况和产业发展现状。

他提到，我国大力发展集成电路相关产业，极为重视人才培养。同学们应当刻苦学习，投身产业发展和科技创新事业。通过本次公开课，同学们对芯片行业的重要地位有了更深入全面的认识。

精彩授课结束后，现场同学报以热烈的掌声。随后大家纷纷参与讨论交流，积极互动，踊跃提问，并上台近距离接触12英寸的大晶圆。徐政基老师也耐心仔细地为大家答疑解惑，争取让同学们对今天的主题有更深刻的领悟与思考。

本次专业导学课顺利开设，有助于同学们对“微电子科学与技术”有更具象及深入的认识，使大家感受到芯片技术的独特魅力，在今后学习中明确奋斗目标，怀抱实业报国的家国情怀，不断提升自身科学文化素质，增强初心力量，争取为中华民族的伟大复兴贡献青春力量！